平面度的测量方法概述
打表测量法:首先是将被测零件以及测微计平放在标准平板上,以标准平板作为测量基准面,然后用测微计沿实际表面逐点或者沿几条直线方向进行测量。打表测量法根据评定基准面分别分为三点法和对角线法:三点法是将被测实际表面上间隔较远的三点所决定的理想平面作为评定基准面,而实测时先将被测实际表面上间隔较远的三点调整到与标准平板同高;对角线法实际应用时首先将实际表面上的四个角点根据对角线调整到两两等高。
水平仪测量法:水平仪在应用当中是一种测量小角度的常用量具。而在机械行业和仪表制造中,充当的角色是用于测量相对于水平位置的倾斜角、机床类设备导轨的平面度和直线度等设备安装的水平位置和垂直位置等。按水平仪的不同外观可分为:框式水平仪和尺式水平仪两种;根据水准器的固定方式又可分为:可调式水平仪和不可调式水平仪。在应用中常常用于工件表面的直线度和平面度测量。
优点如下:测量精度高、稳定性好、体积小、携带方便。
缺点如下:用此方法测量时需要反复挪动仪器位置,记录各测点的数据,费时、费力,调整时间长,数据处理程序繁琐。
激光平面干涉仪测量法:最典型的用法是平晶干涉法,首先以光学平晶的工作面来体现出理想平面,然后直接根据干涉条纹的弯曲程度来确定被测表面的平面度误差值,所以其主要用于测量光洁的小平面的测量,应用于千分头测量面,量规的工作面,光学透镜。又因其激光干涉仪体积小,重量轻、无需外接电源的特点通常应用于光学加工企业及在光学检测机构以及其他要进行光学表面检测的场合。得益于干涉图像与对准系统同步,无需切换,所以任何人都能简单操作,于此同时也能加长导轨配合测量尺寸简便的测量出曲率半径。 塞尺测量法 :塞尺主用于间隙间距的测量,但对平面度的测量只能进行粗测,所以塞尺使用前务必先清理塞尺和工件上的污垢与灰尘。使用时可采用一片或数片以重叠的方式插入间隙,以稍感拖滞为宜。测量时动作一定要轻,不可硬插。也不允许测量温度较高的零件。目前仍是很多工厂采取的方法。由于其精度不高,常规较薄塞尺为10um,检测效率较低,检测结果不够全面,只能用于检测零件边缘。 液平面法:液平面法是把液平面作为测量基准面,液平面是由 “连通罐”内的液面所构成,然后用传感器进行测量。是基于连通器的工作原理,该方法适用于测量连续或不连续大平面的平面度,缺点在于测量时间长,且对温度敏感,仅适用于测量精度较低的平面。
水平仪测量法:水平仪在应用当中是一种测量小角度的常用量具。而在机械行业和仪表制造中,充当的角色是用于测量相对于水平位置的倾斜角、机床类设备导轨的平面度和直线度等设备安装的水平位置和垂直位置等。按水平仪的不同外观可分为:框式水平仪和尺式水平仪两种;根据水准器的固定方式又可分为:可调式水平仪和不可调式水平仪。在应用中常常用于工件表面的直线度和平面度测量。
优点如下:测量精度高、稳定性好、体积小、携带方便。
缺点如下:用此方法测量时需要反复挪动仪器位置,记录各测点的数据,费时、费力,调整时间长,数据处理程序繁琐。
激光平面干涉仪测量法:最典型的用法是平晶干涉法,首先以光学平晶的工作面来体现出理想平面,然后直接根据干涉条纹的弯曲程度来确定被测表面的平面度误差值,所以其主要用于测量光洁的小平面的测量,应用于千分头测量面,量规的工作面,光学透镜。又因其激光干涉仪体积小,重量轻、无需外接电源的特点通常应用于光学加工企业及在光学检测机构以及其他要进行光学表面检测的场合。得益于干涉图像与对准系统同步,无需切换,所以任何人都能简单操作,于此同时也能加长导轨配合测量尺寸简便的测量出曲率半径。 塞尺测量法 :塞尺主用于间隙间距的测量,但对平面度的测量只能进行粗测,所以塞尺使用前务必先清理塞尺和工件上的污垢与灰尘。使用时可采用一片或数片以重叠的方式插入间隙,以稍感拖滞为宜。测量时动作一定要轻,不可硬插。也不允许测量温度较高的零件。目前仍是很多工厂采取的方法。由于其精度不高,常规较薄塞尺为10um,检测效率较低,检测结果不够全面,只能用于检测零件边缘。 液平面法:液平面法是把液平面作为测量基准面,液平面是由 “连通罐”内的液面所构成,然后用传感器进行测量。是基于连通器的工作原理,该方法适用于测量连续或不连续大平面的平面度,缺点在于测量时间长,且对温度敏感,仅适用于测量精度较低的平面。
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